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MDPmap晶圓片壽命檢測(cè)儀--少子壽命測(cè)試
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

MDPmap(MDPmap晶圓片壽命檢測(cè)儀--少子壽命測(cè)試)是一個(gè)緊湊的離線臺(tái)式檢測(cè)設(shè)備,主要被設(shè)計(jì)用于生產(chǎn)控制或研發(fā)、測(cè)量少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率和缺陷信息等參數(shù)。其工作狀態(tài)為穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵(lì)下(μ-PCD)。

產(chǎn)品型號(hào):Freiberg--MDPmap
更新時(shí)間:2024-09-12
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:2161
詳細(xì)介紹在線留言

?產(chǎn)品介紹

 --MDPmapMDPmap晶圓片壽命檢測(cè)儀--少子壽命測(cè)試是一個(gè)緊湊的離線臺(tái)式檢測(cè)設(shè)備,主要被設(shè)計(jì)用于生產(chǎn)控制或研發(fā)、測(cè)量少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率和缺陷信息等參數(shù)。其工作狀態(tài)為穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵(lì)下(μ-PCD)。

 --MDPmap(MDPmap晶圓片壽命檢測(cè)儀--少子壽命測(cè)試)自動(dòng)化的樣品識(shí)別和參數(shù)設(shè)置可以使該儀器方便地適應(yīng)各種不同的樣品,包括從生長(zhǎng)的晶圓到高達(dá)95%的金屬化晶圓之間不同制備階段的各種外延片和晶圓片。

 --MDPmap主要優(yōu)點(diǎn)是其高度的靈活性,它允許集成多達(dá)4個(gè)激光器,用于從超低注入到高注入的與注入水平相關(guān)的壽命測(cè)量,或者通過使用不同的激光波長(zhǎng)提取深度信息。

 

 

?設(shè)備特點(diǎn)

 --靈敏度:對(duì)外延工藝監(jiān)控和不可見缺陷檢測(cè),具有可視化測(cè)試的較高分辨率
 --測(cè)量速度:6英寸硅晶圓片,1mm分辨率 ,小于5分鐘
 --壽命測(cè)試范圍: 20納秒到幾十毫秒
 --沾污檢測(cè):源自坩堝和生長(zhǎng)設(shè)備的金屬(Fe)污染
 --測(cè)量能力:從初始切割的晶圓片到所有工藝加工的樣品
 --靈活性:允許外部激光通過觸發(fā)器,與探測(cè)模塊耦合
 --可靠性: 模塊化和緊湊臺(tái)式儀器,更高可靠性,正常運(yùn)行時(shí)間> 99%
 --重現(xiàn)性: > 99.5%
 --電阻率:無需時(shí)常校準(zhǔn)的電阻率面掃描

 

 

?設(shè)備參數(shù)

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